半导体设备的精密制造与自动化整合

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半导体制造的关键技术挑战

半导体制造要求奈米级精度、零污染控制,以及在每一制程阶段皆不可妥协的制程稳定性。

奈米级精度控制

零组件精度达奈米级公差控制水准。

超洁净制程控制

无微粒设计,确保良率与晶片完整性。

成本与良率压力

高资本投入要求设备维持高运行效率与产能稳定性。

全球供应链复杂性

以稳定可靠的系统,降低营运风险与供应中断所造成的影响。

ACM强化半导体精密制程能力

ACM提供超洁净、高精度解决方案,支援半导体制造应用,涵盖晶圆制程、微影系统及先进封装与组装设备。

高精度零组件制造

严格公差控制控制零组件,并经完整 CMM 三次元量测检验。

半导体制程专业工程能力

工程团队专为半导体制程需求而优化配置。

精密子组件与整机组装

精密制作子组件与模组,确保系统的稳定与长期可靠的运行。

模组化系统整合

整合式模组设计,加速设备导入与量产准备的进程。

强化您的半导体精密制程系统

我们提供关键半导体制造所需的高精度零组件与子系统模组。

 

我们的解决方案支援更高良率、更严格公差控制超洁净运行,涵盖微影、量测与搬运等制程环节。

 

从晶圆厂制程至最终测试,我们确保设备稳定性与制程可靠度。

 

 

DUV 微影设备

EUV 微影系统

量测与检测系统

晶圆搬送

DUV 微影设备

深紫外光微影系统

 

高精度光学元件与高刚性机构结构设计,确保在 193nm 浸润式微影环境下维持长期图形精度稳定性。

 

深紫外光学技术

深紫外光学技术

光学精度控制

光学精度控制

浸润式微影技术

浸润式微影技术

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EUV 微影系统

极紫外光微影设备

 

超高稳定性精密零组件,在严苛热负载与高真空环境下支援奈米级精度控制。

 

 

高精度结构设计

高精度结构设计

热稳定性控制

热稳定性控制

真空相容设计

真空相容设计

联系我们 +

量测与检测系统

支援晶圆制程之高精度量测与缺陷检测设备

 

高精度定位模组与刚性结构设计,确保测量结果可重复性与稳定缺陷检测能力。

 

 

量测精度

量测精度

可重复性控制

可重复性控制

结构稳定性

结构稳定性

联系我们 +

晶圆搬送

晶圆搬送与传输系统

 

洁净且高精度的搬送机构设计,确保低粒子生成、平稳运动控制,以及制程间稳定可靠的晶圆转运。

 

 

高可靠度搬送设计

高可靠度搬送设计

超洁净结构设计

超洁净结构设计

高稳定运动控制

高稳定运动控制

联系我们 +

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结合我们的工程与技术经验,为您的应用需求提供专业建议与制造支援。

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